主要用于OLED G6~G8.6世代高精密掩模版FMM张网量测工序,可实现全制程像素位置高精度量测。
高效率量测
高精度量测
多照明模式量测
双光学量测单元,缩短了量测所需的时间。
采用高精度的运动台和光学量测单元,满足了高精度张网量测的工艺需求。
每套光学量测单元都配置了同轴、环形及背光照明,可满足不同工况的量测需求。