主要应用于显示制造中的TFT、CF、TPOT、COE等工艺制程的TP（Total Pitch）、CS（Center Shift）、CD（Critical Dimension）和OL（Overlay）量测，可支持各世代基板。长寸量测设备又称基板变形检测设备或精密测长机，主要用于长寸TP和CS量测，兼容短寸CD和OL量测；短寸量测设备又称关键尺寸量测设备，主要用于短寸CD和OL量测。
高量测精度
高量测效率
多功能量测
长寸系列设备采用多路激光干涉仪，短寸系列设备采用光栅尺，实现高速、高精确定位和量测。
运动台的运动轴采用高刚度结构设计，运动速度更快，结构更稳定，量测效率更高。
长寸系列产品的基本功能为Total Pitch与Center Shift量测，同时兼容CD和OL的短寸量测功能。短寸系列产品实现CD和OL的短寸量测。
